圆筒形Ag合金靶材

我们提供高利用效率的,可以实现大型基板成膜的圆筒形Ag合金靶材

在转动的同时进行溅镀,从而得到最大超过80%的高利用效率圆筒靶材,近年来不断受到关注。 三菱综合材料株式会社的Ag及Ag合金圆筒型靶材实现了无缝长尺寸加工。通过微细、均一地控制金属组织,可以在大面积基板上形成等质膜。 为提高在Low-E玻璃、薄膜太阳能电池、平板显示器等大型基板上成膜的效率,请关注本靶材。

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