超大级别的Ag合金靶材

可以实现大型基板的均一成膜

虽然Ag薄膜具有低电阻、高反射率等良好特性,但随着时间流逝,反射率及导电性会因腐蚀及内聚而下降。
三菱综合材料通过长年不断地研究,添加各类不同的合金成分,终于探索出了一种同时具有低电阻、高反射性及耐久性、耐热性的Ag合金。
这个产品系列中具有可用于各种用途的Ag合金靶材。开发新产品时,请您务必咨询三菱综合材料。
超大级别的Ag合金靶材

下面介绍近年来备受关注的圆筒型Ag合金靶材

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