2017年6月20日

新产品—有机EL显示器用银合金溅镀靶材

“DIASILVER 201-100”开始量产



三菱综合材料株式会社(董事总经理:竹内 章、注册资金:1,194亿日元)下属的电子材料事业公司研发出了有机EL显示器用银合金溅镀靶材的新产品“DIASILVER 201-100”,并已开始量产。同时,结合本次研发,创立了银合金溅镀靶材的新品牌“DIASILVER”系列,今后将积极进行市场推广,特此通知。

溅镀靶材是将合金、金属氧化物等物质以原子精度附着到目标基板上,形成薄膜时所使用的电子材料。银具有“高反射率”、“低电阻”的特点,因此银合金溅镀靶材多用于反射膜、电极膜、配线膜、或者半透明膜(半透光膜)的形成。

本公司生产的有机EL显示器用银合金溅镀靶材,其所形成的薄膜电极具有很高的可见光反射率,同时具有耐腐蚀、低电阻等特点,并且因其高超的靶材制造技术,在提高显示器辉度、延长使用寿命方面做出了贡献。因此,也长年保持着90%以上、具有压倒性优势的市场占有率(本公司推测),并作为行业标准材料被广大客户所使用。

本次研发的“DIASILVER 201-100”具有下述特点和效果,其用途有望从现在的有机EL显示器,扩大到柔性显示器、液晶显示器等方面。

【特点】
1) 形成靶材的结晶平均粒径在100μm以下,金属组织更加微细。
传统产品在400μm以下。
2) 没有焊接、粘合等接头,支持大尺寸成膜※。
(平板型)一体型G6、分割型G11  (圆筒型)G8.5
3) 整个靶材的金属组织分布均匀。
靶材面内及厚度方向的结晶粒径的波动在20%以内。

【效果】
1) 通过提高在大型基板上所形成薄膜的膜特性(电气特性、反射特性)的均一性,改善有机EL显示器的图像质量。
2) 通过降低溅镀过程中的异常放电(电弧放电)及靶材飞散,改善有机EL显示器的生产合格率。
3) 尺寸大型化带来用途的扩大。

本公司在愿景中提出了“我们矢志成为领先的商业集团,承诺开展材料创新、使用自身独特的技术创建一个可持续发展的世界,造福人类、造福社会、造福地球”的目标。今后将一如既往敏锐地捕捉市场需求,不断研发并为客户提供独特的、具有高附加值的产品。

※平板显示器制造用的玻璃基板(mother glass)面积越来越大,根据尺寸大小用第1代、第2代…来表示。G6是指第6代,尺寸为1500mm×1800mm;G8.5是指第8.5代,尺寸为2200mm×2500mm;G11是指第11代,尺寸为2940mm×3370mm。溅镀靶材需具有比玻璃基板更大的尺寸。


(有机EL显示器用银合金靶材:尺寸为1800mm×2300mm)


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三菱综合材料管理(上海)有限公司
战略企划部